MgO-based Ceramics with Excellent Corrosion Resistance against Plasma Etchingプラズマエッチング耐性に優れるMgO 系セラミックス
Kota TSUTSUMI, Shinzo MITOMI, Yuji KASASHIMA, Fumihiko UESUGI堤幸太、味冨晋三、笠嶋悠司、上杉文彦
Key words
corrosion resistance, plasma etching, component parts used in a chamber of plasma etching
キーワード
耐腐食性、プラズマエッチング、プラズマエッチング装置用部材、MgO、複合セラミックス、半導体
Abstract
In plasma etching process, materials having higher corrosion resistance are required. We developed an advanced MgO-based ceramics with excellent corrosion resistance and high mechanical characteristics. Further, we also succeeded in lowering electric resistance to the order of 100 ohm centimeter without deterioration of its excellent corrosion resistance.
プラズマエッチングプロセスでは、より高い耐食性を有する材料が求められている。我々は、優れた耐食性と機械特性を有するMgO 系複合セラミックスを開発した。また、耐腐食性を劣化させることなく、電気抵抗を100Ω cm まで低下させることにも成功した。これら材料はプラズマエッチング装置内で用いられる部品に適している。
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