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ファインセラミック搬送用多孔質セラミックス

搬送用多孔質セラミックス
 高い性能をコンパクトにパッケージするため、精密部品はより小型化を、機能性フィルムはより薄く、機械技術は日々進歩しております。従来の真空チャックではミゾや穴の吸着痕が残る、ワークによって吸着プレートの交換が必要になるという問題点がありました。弊社では薄膜フィルムの吸着固定、搬送に適した気孔径の小さい多孔質セラミックスを開発し、製造・販売しております。


用途例
〇 シリコンウエハやフィルムなどのパターン検査用途
〇 薄膜フィルム搬送用途
〇 塗布・印刷機器用途
〇 ウェブハンドリング用途
〇 加工用吸着固定用途
〇 その他各種真空吸着用途 

多孔質セラミックスの特徴


○ 化学的安定性に優れたアルミナ(Al2O3)系のセラミック多孔体です。
○ 微小気孔を均一分散することで、平滑性の高い面仕上げが可能です。(最上仕上げRa=0.6μm)
○ NPP-3Dは一般的な多孔質セラミックと比較して高い強度を有します。
○ アルミナを主成分とし、メタル成分を含みません。
○ 画像検査用途で乱反射・ハレーションを起こしにくい材質です。
○ 部分吸着特性(下記参照)を有しており、ワークのサイズ変更に対応可能です。
多孔質セラミックス物性表
名称気孔率気孔径
[μm]
曲げ強度
[MPa]
ヤング率
[GPa]
熱伝導率
[W/m・K]
比熱
[J/kg・K]
熱膨張係数
[✕10^6/K]
NPP-3D30%0.5909012-5.7
NPP-230W30%10292747894.5
緻密アルミナ0%-520350367825.7
多孔質内部拡大図

吸着痕問題を解決!

ワークに気孔形状が転写されてしまう吸着痕でお困りではないですか?
弊社の微小気孔径多孔質セラミックスNPP-3Dなら、吸着痕を極限まで低減した吸着固定が可能です。

部分吸着性能でチャック交換の手間いらず!

従来の真空チャックではワークに合わせて吸着プレートを交換するのが一般的でしたが、
弊社の微小気孔径多孔質セラミックスNPP-3Dなら、部分吸着性能を活かして
大きなワークも小さなワークもほぼ遜色ない吸着性能を発揮し、ワンチャックで対応可能です。
☆技術説明会を実施しております。
  各種展示会等でもご好評いただいておりますプレゼンテーションを貴社にて実施させていただきます。
  従来の真空チャックとの違い、長所、短所、注意点等をご説明させていただきます。

 また、デモ機もご用意しております。実際に真空チャックをご評価いただくことができますので
 真空チャックのご利用を検討中であれば是非、下記フォームよりお問い合わせください。

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