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電子デバイス関連搬送用多孔質セラミック

搬送用多孔質セラミック
機能性フィルムはより薄くなり、高性能な製造装置へのニーズが高まっています。当社のサクションロールは、吸着部に微小な気孔径の多孔質セラミックを使用しています。部分吸着性能による段取替えの低減、微小な気孔径による吸着時に問題となる吸着痕の低減やワーク変形の抑制が期待でき、お客様の生産性向上に役立ちます。
*当社多孔質セラミックの特性で、吸着面全体を覆わなくても吸着が可能なことを指します

多孔質セラミックサクションロール

ロールtoロール工程では、塗工・乾燥直後のワークにテンションをかけることができない工程にサクションロールが使用されています。
現在、使用されているサクションロールに不便を感じていることはないでしょうか?

当社の多孔質セラミックサクションロールは、以下のお困りごとを解決します。
・生産品目ごとにサクションロールの段取り替えが必要なこと
・生産品目ごとに抱き角・ワーク幅が違うと、複数のサクションロールが必要になること
・薄いワークに吸着痕がついてしまうこと

@部分吸着性能で段取り替え工数とサクションロール保有本数の低減

当社の多孔質セラミックサクションロールを使用すると、
・抱き角、ワークの吸着幅を多孔質セラミックサクションロールの幅内で自由に変更可能で段取り工数を低減できます
・様々なワークサイズに対応できるので1本の多孔質セラミックサクションロールで使いまわしができます

抱き角、ワークの吸着幅を多孔質セラミックサクションロールの幅内で自由に変更可能
多孔質セラミックサクションロール

A吸着痕・変形による不具合を解決

当社の多孔質セラミックサクションロールを使用すると、 
・微小な気孔径の多孔質セラミックにより、吸着痕を極限まで低減します
・薄いワークの変形を防止できます
・吸着痕や変形による不具合が低減できます

気孔のサイズとワークの吸着痕の関係

多孔質セラミックの「部分吸着性能」について

従来の真空チャックでは、ワークに合わせて吸着プレートを交換するのが一般的でした。真空チャックに吸着していない部分があると、そこからエアーが入り込み、差圧が発生しにくくなり吸着力を得られませんでした。当社のNPP-3D(材質名)は、部分吸着性能を有し、チャック部全面を覆うことなく吸着力が得られるため、ワークごとに真空チャックの段取り替えを行わなくても吸着することが可能です。

部分吸着イメージ

吸着面積率による吸着性能の低下

用途例

〇サクションロール(ロールtoロール工程搬送用途)
〇薄膜フィルム搬送用途
〇シリコンウエハやフィルムなどのパターン検査用途
〇塗布・印刷機器用途
〇加工用吸着固定用途
〇その他各種真空吸着用途

お気軽にお問合せ下さい


機能性フィルムを中心とした厚みの極薄化にともない、当社への搬送用多孔質セラミックの引き合いが多くなっています。
搬送でサクションロールを使用されているお客様からは、薄いワーク自体に吸着による変形を防止するためのシビアな調整とその後の検査工程が負担になっているとお聞きしています。
当社多孔質セラミックサクションロールでは、ワークに吸着による負担をかけず、吸着痕を残すことなく、変形を極限まで低減して吸着・搬送することができます。
当社では、デモ機の貸し出しも行っており、吸着テストを実施いただくことも可能ですので、安心してお問い合わせください。
機械部品事業本部 営業部 岩男 真吾機械部品事業本部
営業部 岩男 真吾

☆技術説明会を実施しております

各種展示会などでもご好評いただいておりますプレゼンテーションを貴社にて実施いたします。
従来の真空チャックとの違い、長所、短所、注意点を説明いたします。

☆デモ機をご用意しております

実際に多孔質セラミックを真空チャックとしてご評価いただけますので、デモ機をご希望の際は
下記お問い合わせフォームよりお問合せください。

詳細資料ダウンロードできます。

多孔質セラミックの詳細資料をご用意しております。
ニッタン技報46号

ニッタン技報46号

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