通常の真空チャックでは出来なかった部分的な吸着固定が可能であり、一つの真空チャックで様々なワークサイズに対応可能です。
| 名称 | 色調 | 気孔径 （μｍ） |
気孔率 （％） |
曲げ強度 （MPa） |
ヤング率 （GPa） |
熱伝導率 （W／m･K） |
熱膨張係数 （x10-6／℃） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| NPP-230W | 白色 | 10 | 30 | 29 | 27 | 4 | 4.5 |
| NPP-125W | 白色 | 0.5 | 25 | 150 | 110 | 12 | 5.7 |
| NPP-125D | 暗色 | 0.5 | 25 | 130 | 100 | 13 | 5.7 |
| 通常アルミナ | 白色 | - | - | 520 | 350 | 36 | 5.7 |
＊20〜100℃
