技術情報

2017  Volume 41 

Adsorption Property of Alumina Porous Ceramics “NPP-3D” for Vacuum Chucks アルミナ系多孔質セラミックスNPP-3D を用いた 真空チャックの吸着特性
Ryuichi MASUMOTO, Toshikazu YASUKOCHI 増本龍一、安河内利一
Key words alumina porous ceramics, vacuum, adsorption property
キーワード 多孔質アルミナセラミックス、真空吸着、吸着特性

Abstract

We have previously reported a method to produce a high purity and high strength ceramic material with micropores without any pore-forming agent which we named “NPP-3D”. In the present study, we evaluated the adsorption property of NPP-3D vacuum chucks and confirmed that NPP-3D vacuum chuck plates and rolls have a “partial adsorption property”. This permits a variety of work sizes with only a single NPP-3D vacuum chuck plate, and allows flexibility in manufacturing processes using NPP-3D vacuum chuck rolls.
過去の報告において、造孔剤等の添加物を使用しない一般的な焼結工程で、高純度且つ高強度な多孔質セラミックス(NPP-3D)を製造する方法と、その機械的性質について報告した。本研究ではNPP-3D を用いて製作した真空チャックの吸着特性について評価した。その結果、NPP-3D を用いた真空チャックは高い「部分吸着性」を有し、多様なワークに1 個の真空チャックで対応可能である事を見出した。NPP-3D を用いることで、従来の真空チャックと比較して、より柔軟にワークの変化に対応する工程設計が可能となると考える。

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