技術情報

2007  Volume 39 

Development of pure tungsten material "S-TUN" by new manufacturing method 新製法による純タングステン材料「エスタン」の開発
Shuichi TERAMOTO, Takuji SHIBUYA 寺本 修一、澁谷 拓二
Key words S-TUN, Tungsten, pure tungsten, plasma, electrical discharge, research facilities, semiconductor manufacturing device parts, liquid crystal manufacturing device parts
キーワード エスタン、タングステン、純タングステン、プラズマ、放電、検査機器、半導体製造装置部品、液晶製造装置部品

Abstract

Our company has reviewed the past tungsten manufacturing method, and developed a pure tungsten material with a new manufacturing method. This paper introduces the development purpose, the differences with the past manufacturing method, the characteristics, and the application of developed new manufacturing method pure tungsten material "S-TUN" in this report.
当社では従来のタングステン製法を見直し、新たな製法による純タングステン材料の開発を進めてきた。本稿では、開発した新製法純タングステン材料「エスタン」の開発目的、従来製法との違い、特徴、用途例などを紹介する。
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