技術情報

1999  Volume 31 

Development of Semi-Conductive Ceramics 半導電性セラミックスの開発
Sinzou Mitomi, Masanobu Takasu 味冨晋三、高巣正信
Key words semi conductive ceramics, static dissipativity, electrical resistivity, thermal expansion coefficient, mechanical properties, ESDS items
キーワード 半導電性セラミックス、 静電気拡散性, 電気抵抗、 熱膨張係数、

Abstract

An investigation was carried out to give static dissipativity to ceramics. As the results, semi-conductive ceramics could be obtained by dispersing SiC or TiO2 to insulating oxide as Al2O3 or ZrO2. Additionally, it was possible to control electrical resistivity of these semi-conductive ceramics without difficulty by adjusting the additional ratio of these dispersed particles. These semi-conductive ceramics also shows excellent mechanical properties, and is appropriate for materials used for accessories or manufacturing jigs of electro static discharge sensitivity items.
セラミックスに半導電性を付与する検討を行った。その結果、Al2O3やZrO2のような絶縁性酸化物にSiCやTiO2を分散させることによって半導電性セラミックスを得ることができた。さらに、分散粒子の添加割合を調整することによって容易に電気抵抗値を制御できた。これらの半導電性セラミックスは、機械的性質にも優れており、静電気に敏感な電子デバイスの周辺部材やその製造用治工具材料に好適である。
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