イオン化蒸着法で作製したDLC膜の摩擦、摩耗特性｜Nippon Tungusten Review

1999 Volume 31

Friction and Wear Characteristics of DLC Films Prepared by Ionization Deposition イオン化蒸着法で作製したDLC膜の摩擦、摩耗特性

Kenji OKAMURA, Osamu NAKANO, Akemi TSUCHIYAMA *)
*) 福岡県工業技術センター(Fukuoka Industrial Technology Center) 岡村研二、中野修、土山明美

Key words	DLC, ionization deposition, cemented carbide friction, wear, Al-Mg alloy
キーワード	DLC，イオン化蒸着法，超硬合金，摩擦，摩耗，Al-Mg合金

DLC films were deposited on cemented carbide substrate by Ionization Deposition from benzene source gas. Films were prepared at the condition that substrate bias voltage Vb was varied from 0 to -3000V. The film structure was examined by Raman spectroscopy and hardness was measured, and sliding test against Al-Mg alloy was performed. In case of Vb=0V, soft polymer carbon films were deposited, and in other bias voltage, DLC films, that was as hard as or harder than TiN film, were deposited. As a result of sliding test by ball-on-disk machine, it became clear that friction and wear property of DLC films against Al-Mg alloy were superior to that of no-coat cemented carbide substrate, or TiN film

ベンゼンを原料としたイオン化蒸着法にてDLC膜を超硬合金基板上に作製した。DLC膜は基板バイアス電圧Vbを0～－3000Vまで変化させて作製し、硬度評価、ラマン分析による構造解析、Al－Mg合金に対する摺動試験を実施した。Vb＝0Vにおいて作製した膜は軟質のポリマー状炭素膜が形成され、それ以外のバイアス電圧ではTiN膜と同等あるいはそれ以上の硬質なDLC膜が形成された。ボールオンディスクによる摺動試験を行った結果、Al-Mg合金に対するDLC膜の摩擦摩耗特性は、超硬基材やTiN膜に比べ優れている事が明らかとなった。

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1999 Volume 31

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