技術情報

1999  Volume 31 

Friction and Wear Characteristics of DLC Films Prepared by Ionization Deposition イオン化蒸着法で作製したDLC膜の摩擦、摩耗特性
Kenji OKAMURA, Osamu NAKANO, Akemi TSUCHIYAMA *)
*) 福岡県工業技術センター(Fukuoka Industrial Technology Center)
岡村研二、中野修、土山明美
Key words DLC, ionization deposition, cemented carbide friction, wear, Al-Mg alloy
キーワード DLC,イオン化蒸着法,超硬合金,摩擦,摩耗,Al-Mg合金

Abstract

DLC films were deposited on cemented carbide substrate by Ionization Deposition from benzene source gas. Films were prepared at the condition that substrate bias voltage Vb was varied from 0 to -3000V. The film structure was examined by Raman spectroscopy and hardness was measured, and sliding test against Al-Mg alloy was performed. In case of Vb=0V, soft polymer carbon films were deposited, and in other bias voltage, DLC films, that was as hard as or harder than TiN film, were deposited. As a result of sliding test by ball-on-disk machine, it became clear that friction and wear property of DLC films against Al-Mg alloy were superior to that of no-coat cemented carbide substrate, or TiN film
ベンゼンを原料としたイオン化蒸着法にてDLC膜を超硬合金基板上に作製した。DLC膜は基板バイアス電圧Vbを0〜−3000Vまで変化させて作製し、硬度評価、ラマン分析による構造解析、Al−Mg合金に対する摺動試験を実施した。Vb=0Vにおいて作製した膜は軟質のポリマー状炭素膜が形成され、それ以外のバイアス電圧ではTiN膜と同等あるいはそれ以上の硬質なDLC膜が形成された。ボールオンディスクによる摺動試験を行った結果、Al-Mg合金に対するDLC膜の摩擦摩耗特性は、超硬基材やTiN膜に比べ優れている事が明らかとなった。
← 前へ  | TOP | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 |  → 次へ

日本タングステンへのお問い合わせはこちら

お電話・FAXのお客様はお近くの支店へお問い合わせください。
  • 東京支店 TEL 03-5812-2481 FAX 03-5812-2484
  • 名古屋支店 TEL 052-203-1081 FAX 052-203-1082
  • 大阪支店 TEL 06-6372-5681 FAX 06-6371-3986
  • 九州支店 TEL 0942-50-0050 FAX 0942-50-0055
日本タングステン株式会社(Nippon Tungsten Co.,Ltd)
〒812-8538 福岡市博多区美野島一丁目2番8号
TEL 092-415-5500(代表) / FAX 092-415-5511(代表)
Copyright(C) 2006 Nippon Tungsten Co., Ltd. All right reserved.
お問い合わせフォーム お電話・FAXでのお問い合わせ