電子機器、液晶・半導体、燃料電池関連業界などの工業分野においては、ガラス、Si基板やフィルムなどの薄膜化が進んでおり、高精度化、作業性の改善を目的に、多孔質セラミック真空チャックへの転換が行われています。反りの強いワークに対応した新たな多孔質セラミックスを用いた真空チャックと、フィルムの連続吸着での使用が期待されるロールタイプの真空チャックについてご紹介いたします。