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エンジニアリングセラミック炭化珪素セラミックス（NPS－1、4）

セラミックスの中で高い硬さを持ち、耐酸化耐食性に優れた材料

・半導体製造装置やその周辺部材など耐摩耗性、高剛性などの機械的特性が要求される用途
・高温や酸またはアルカリ溶液中で使用される用途

炭化珪素“NPS-1、4”の特徴
1.軽比重　　　比重3.1（アルミナの3/4、超硬合金の1/5）
2.高硬度　　　Hv2400（アルミナの1.3倍）
3.高剛性　　　ヤング率410GPa（鉄系材料の約2倍）
4.耐酸化性　　600℃大気中使用で面粗さ劣化なし
5.耐食性　　　強酸（HCl,H2SO4,HNO3）、強アルカリ（NaOH,KOH）環境でも重量減少なし

NPS-4へのCVD（Chemical Vapor Deposition ）-SiC膜形成

使用面に優れた面粗さや鏡面性が必要な場合はCVD-SiC膜を形成することができます。

弊社CVD-SiC膜の特徴

・ポアフリーであるため、優れた鏡面が得られます（Ra0.05μm以下）。
・中間層を形成しないので、密着性に優れます。
・100μm以上の厚膜形成が可能です。
・最大φ300mmへの均一な成膜が可能です。

高品位緻密質ファインセラミックス基板

セラミック実装用ツール

ニッタン技報

第48号　超硬異材、セラミックの接合

第47号　緻密化応用技術

第46号　LED用機能性無機塗料

第44号　超硬長尺製品

第43号　多孔質セラミックサクションロール

第42号　放電加工用電極C-EDM

第41号　タングステン/モリブデン系抵抗溶接電極

第40号ガラスレンズ成型用金型材料

第39号　超硬合金長尺製品

第38号　極小タングステンリボン

第37号　金型用セラミック　NPZ-28

第36号タングステン/モリブデン系抵抗溶接電極

第35号高密度タングステン合金『ヘビーアロイ』

第34号　高品位緻密質ファインセラミック基板

第33号　セラミックの材料特性

第32号　NTダイカッター

第31号　耐食耐摩材料『TX-1』

第30号セラミックの電気特性

第29号　タングステン系放電加工用小径電極

第28号　セラミック実装用ツール

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