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第30号 セラミックの電気特性高強度多孔質セラミックス

セラミックの製造技術を活かし高純度でミクロンサイズの気孔径を有する高強度多孔質セラミックスを開発しました。お客様の要求される気孔率や強度に幅広く対応できます。真空チャックユニットで提供が可能です。

主な特長

・気孔率を任意にコントロールできます
・ミクロンサイズの気孔径を有しており、均一な吸着力が得られます。
・多孔体全面に吸着物が無くても吸着力が得られます。
・金属や樹脂などの不純物を含みません
・従来の多孔体より、高強度が得られます。

多孔質セラミックの物性

材質:高純度アルミナ
気孔率:10%〜30%
    (任意の値にコントロールできます)
気孔径:10μm以下
抗折強度:100Mpa

ニッタン技報 

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