技術情報

2024  Volume 42 

Development of 230 nm Wavelength Far-Ultraviolet C Light-Emitting Diodes 波長230nm far-UVC LEDの開発
Hirokazu KAWASHIMA, Hiroyuki OOGAMI, Kengo MOURI, Mitsuhiro MUTA, Yasushi IWAISAKO 河島 宏和,大神 裕之,毛利 健吾,牟田 実広,祝迫 恭
Key words far-ultraviolet C light-emitting diode, wavelength spectrum, light output power, RIKEN, metal organic chemical vapor deposition, luminous intensity distribution
キーワード far-UVC LED,波長スペクトル,発光出力,理化学研究所,MOCVD法, 配光分布

Abstract

Although deep ultraviolet (UV) light with a wavelength of 265 to 280 nm has a high virus inactivation effect, there are concerns about its effect on the human body. UV light with a wavelength of 220 to 230 nm (far-UV C (UVC) light) is considered to be harmless to the human body, but it has not been put into practical use because its luminous efficiency is extremely inferior to that of light with a wavelength of 265 to 280 nm. In this research, we developed a 230 nm far-UVC light-emitting diode (LED) through joint research with RIKEN. In the fabricated 230 nm far-UVC LED, a single chip achieved a maximum light output power of 2.7 mW in pulse operation, a maximum light output power of 1.1 mW in continuous operation, and a maximum external quantum efficiency of 0.25%. We also created a panel equipped with 25 LEDs and confirmed that there were no problems with its operation.
波長265nm〜280nmの深紫外光は高いウイルス不活化効果がある反面,人体への影響が懸念される.波長220nm〜230nmの紫外光(far-UVC)は人体に無害とされているが,発光効率が波長265nm〜280nmのLEDに比べて極端に劣ることから,実用化には至っていない.本研究では,理化学研究所との共同研究により,230nm far-UVC LEDの開発を行った.作製した230nm far-UVC LEDにおいて,チップ単体でパルス動作では最大2.7mW,連続動作では最大1.1mW,最高EQE0.25%を達成した.また,LEDを25個搭載したパネルを作製し,動作に問題が無い事が確認できた.

5.Development_of_230nm_Wavelength_Far_Ultraviolet_C_Light-Emitting_diodes.pdf
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