技術情報

2000  Volume 32 

Development of Semi-conductive Ceramics.(second report) 半導電性セラミックスの開発(第2報)
Masanobu Takasu, Shinzo Mitomi 高巣正信、味冨晋三
Key words semi-conductive ceramics, electrical resistivity, thermal expansion coefficient, mechanical properties, ESDS items, HIP
キーワード 半導電性セラミックス、電気抵抗率、熱膨張係数、機械的性質、ESDSアイテム、HIP

Abstract

In a previous paper, it was reported that SiC and TiO2 additions were effective in giving static dissipativity to Al2O3 and ZrO2 oxide ceramics.
This paper examined the relationship between additions quantities of dispersed conductive ceramics and electrical resistivity with the resistance indicator of a double ring system which is able to accurately measure the electrical resistivity of high resistance area. It also investigated the effect of HIP on the electrical resistivity and mechanical properties of these semi-conductive ceramics.
前報では、酸化物系セラミックスであるアルミナやジルコニアに半導電性を付与する検討を行い、SiCやTiO2の添加が有効であることを報告した。
本報では、高抵抗域の抵抗率を正確に測定することができる、2重リング方式の抵抗率計を用いて、導電性付与粒子の添加量と、抵抗率の関係を詳細に検討した。
加えて、これら半導電性セラミックスの抵抗率や機械的性質に及ぼすHIP処理の影響についても調査を行った。
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