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技術情報 Nippon Tungusten Review
2004 Volume 36
The development of the low thermal expansion ceramic “ NPCR-1 ”
低熱膨張セラミックス材料” NPCR-1 ”の開発
Toshikazu YASUKOCHI, Masanobu TAKASU, Tsuyoshi ASADA, Osamu NAKANO
安河内利一、高巣正信、浅田剛、中野修

Key words NPCR-1,low thermal expansion ceramics, high Young's modulus, coefficient of thermal expansion(CTE), mirror surface
キーワード NPCR−1、低熱膨張セラミックス、高ヤング率、熱膨張係数、鏡面性
Abstract

Ceramics has been used as structural materials due to its excellent properties such as low density, high hardness and high Young's modulus. In recent years, high precision is required for the parts and low thermal expansion ceramic materials are used. However, as the structural material of the precise part, it is insufficient from the strength and the surface property point. Moreover, it is also required to control the thermal expansion sufficiently.
In order to solve these problems, we have developed high-strength low thermal expansion ceramic materials that control the coefficient of thermal expansion (CTE) zero at near room temperature.

セラミックスは低密度、高硬度、高ヤング率などの優れた特性により構造用部材として多用されている。近年では、用いられる部品には高い精度を要求され、低熱膨張セラミックスが用いられてきている。しかしながら、これらのセラミックス材料は強度や面性状の点から精密部材の構造材としては不十分である。更に、熱膨張に関しても十分な制御が求められている。
そこで、我々はこの問題を解決すべく、室温近傍温度域での熱膨張率をゼロに制御した高強度低熱膨張セラミックス材料の開発を行った。

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