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ニッタン技報

エンジニアリングセラミック

高熱伝導セラミックスNPL-2、3

NPL-2、3の特徴
 1.高熱伝導  170W/m・K セラミックス材料の中で最高
 2.高強度、高硬度  400MPa、Hv1000
 3.Siと同程度の熱膨張係数  5.0×10-6 1/K
 4.大型品の製造が可能  φ400×30、□30×1000Lなど

用途
 ・ボンディングツール
 ・ヒートシンク
 ・放熱板
 ・ダミーウェハー  など
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