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材種別技術レポート
エンジニアリングセラミック
高熱伝導セラミックスNPL-2、3
NPL-2、3の特徴
1.高熱伝導 170W/m・K セラミックス材料の中で最高
2.高強度、高硬度 400MPa、Hv1000
3.Siと同程度の熱膨張係数 5.0×10-6 1/K
4.大型品の製造が可能 φ400×30、□30×1000Lなど
用途
・ボンディングツール
・ヒートシンク
・放熱板
・ダミーウェハー など
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セラミック実装用ツール
セラミックスの熱膨張