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電子デバイス関連多孔質セラミック

多孔質セラミック
機能性フィルムはより薄くなり、高性能な製造装置へのニーズが高まっています。当社のサクションロールは、吸着部に微小な気孔径の多孔質セラミックを使用しています。部分吸着性能による段取替えの低減、吸着痕の低減やワーク変形の抑制が期待でき、お客様の生産性向上に役立ちます。
*当社多孔質セラミックの特性で、吸着面全体を覆わなくても吸着が可能なことを指します

多孔質セラミックのメリット

ロールtoロール工程では、塗工・乾燥直後のワークにテンションをかけることができない工程にサクションロールが使用されています。
現在、使用されているサクションロールに不便を感じていることはないでしょうか?

当社の多孔質セラミックサクションロールは、以下のお困りごとを解決します。
・生産品目ごとにサクションロールの段取り替えが必要なこと
・生産品目ごとに抱き角・ワーク幅が違うことにより、複数のサクションロールが必要になること
・薄いワークに吸着痕がついてしまうこと

@部分吸着性能で段取り替え工数とサクションロール保有本数の低減

・部分吸着性能により抱き角、ワーク幅を自由に変更可能です。

→段取り工数を低減できます→ひとつのサクションロールで様々なワークサイズに対応できます

抱き角、ワークの吸着幅を多孔質セラミックサクションロールの幅内で自由に変更可能
多孔質セラミックサクションロール

A吸着痕・変形による不具合を解決

当社の多孔質セラミックサクションロールを使用すると、 
・微小な気孔径の多孔質セラミックにより、吸着痕を極限まで低減します
・薄いワークの変形を防止できます

吸着痕参考図

左:スルーホール  右:多孔質(気孔径250μm)


気孔のサイズとワークの吸着痕の関係

多孔質セラミックとは?

従来の真空チャックでは、ワークに合わせて吸着プレートを交換するのが一般的でした。真空チャックに吸着していない部分があると、そこからエアーが入り込み、差圧が発生しにくくなる為、吸着力を得られませんでした。
当社のNPP-3D(材質名)は、部分吸着性能がありチャック部全面を覆うことなく吸着力が得られるので、ワークごとに真空チャックの段取り替えを行わなくても吸着することが可能です。

部分吸着イメージ

吸着面積率による吸着性能の低下

用途例

〇サクションロール(ロールtoロール工程搬送用途)
〇薄膜フィルム搬送用途
〇シリコンウエハやフィルムなどのパターン検査用途
〇塗布・印刷機器用途
〇加工用吸着固定用途
〇その他各種真空吸着用途

多孔質セラミックを更に知りたい方へ

多孔質セラミックの詳しい特徴や導入事例を纏めた資料が入手できます。
ライブラリー 業務の課題に「役立つ・学べる資料集」

多孔質セラミックサクションロールの特徴をYoutubeでご覧頂けます。
→多孔質セラミックサクションロール

☆技術説明会を実施しております

各種展示会などでもご好評いただいておりますプレゼンテーションを貴社にて実施いたします。
従来の真空チャックとの違い、長所、短所、注意点を説明いたします。

☆デモ機をご用意しております

実際に多孔質セラミックを真空チャックとしてご評価いただけますので、デモ機をご希望の際は
下記お問い合わせフォームよりお問合せください。

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